レーザークリーニングの原理

これには主に次の側面が含まれます。

吸収効果: レーザーのエネルギーはターゲット表面の汚染物質によって吸収され、汚染物質の吸収点が加熱され、熱膨張と溶融が引き起こされる可能性があります。この熱膨張により熱圧力が発生し、基板への汚染物質の付着が一時的に減少し、汚染物質が基板から剥離します。

プラズマ効果: レーザービームのパワー密度が材料の閾値よりも高い場合、プラズマが生成されます。プラズマは、正に帯電したイオンと自由電子で構成される高エネルギーの電磁場で、汚染物質と基材の間の化学結合を剥がしたり、分子構造を解離したりして、対象物の表面の汚染物質を洗浄します。

蒸発効果: レーザー光線が汚染物質の表面に照射された場合。光エネルギーは汚染物質に吸収され、汚染物質を高温に加熱してその温度を蒸発温度以上に上昇させ、汚染物質を蒸発させます。蒸発効果により、基板に損傷を与えることなく汚染物質を完全に除去できます。光化学反応：レーザーが対象物の表面の化学物質と反応します。それにより化学的性質が変化し、洗浄効果が得られます。

ブラスト効果: 瞬間的な高エネルギー密度によるレーザー洗浄中。汚染物質は熱膨張により爆破効果を受けます。このブラスト効果により、汚染物質が短時間で急速に破壊され、表面から剥がれ落ちます。